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劉學峰 |
千人計劃特聘專家,南京理工大學電子工程與光電技術學院教授,博士生導師。同時任職紫金特聘教授、IEEE會員、OE雜志副主編、移動互聯網雜志編委。 曾組織參與世界光通信器件公司Bookham核心項目研發、集成電路光刻機廠家ASML光學成像部世界前沿機型研發。近年注重參與重大專項、組織973和基金重大儀器專項申請等并已獲得江蘇省雙創團隊項目。國內外多年研發中共設計制作了15個大型光學測量和波前控制系統,擁有大量知識產權其中包括15項。同時在光刻工程、光通信器件、光波前控制器件與系統、納米和亞納米級光波前偏差、物質結構和形貌檢測等方面發表文章50多篇。 研究方向:光柵掩模設計、電子束刻與光刻工藝等領域 |
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